软件说明
Tanner MEMS设计流程的核心是L-Edit。L-Edit是一款MEMS版图编辑工具,可以进行曲线多边形和全角运算操作。相比于工程师使用的其他CAD工具,L-Edit的版图规划更加清晰。用户可以快速的画出所需的图形,并方便地检查多层版图组合之间的重叠和相互关联。利用L-Edit例如强大的曲线编辑、实时DRC检查、布尔运算、对象捕捉与对准等方面的优势,用户可以更有效的完成设计任务,并节约时间与成本。与此同时,在任意形状与曲率的多边形复杂运算和派生层生成操作上,L-Edit的精度也可以做的非常高。这些操作包含AND,OR,XOR,Subtract,Grow和Shrink等。它们允许用户根据简单的形状产生复杂的MEMS特殊结构。如下图所示:
Tanner MEMS的特点及优势
– 同一环境下完整的IC和MEMS设计解决方案
– 25年的MEMS设计经验
– 从版图生成3D MEMS模型
– 支持导入和导出GDS、OASIS、DXF、Gerber 和 CIF 文件格式
– L-Edit提供可视化连接的节点高亮,可以快速查找和定位DRC和LVS问题
– 高度可编程的MEMS版图设计工具,如曲线多边形、多角操作等
– 参数化派生层产生工具,可实现特殊MEMS结构设计
– 完整可视化的多图层几何图形设计- 利用工具栏便捷地生成、摆放和对准图形,执行任意角度旋转、翻转、合并、咬和切片操作,指定一个参考点进行编辑操作,如对象旋转、翻转、移动,或使用基点位置进行实例放置等
– 针对MEMS工艺的DRC检查
– 支持附带边界重构的DXF数据格式导入导出
– 支持Luceda Photonics公司的IPKISS.eda工具, 进行硅光器件设计
– Soft MEMS工具选项
> 高级3D分析工具:机械,热,声,电,静电,磁性和流体分析
> 系统级仿真,包含IC和MEMS协同仿真
> 根据3D分析结果,自动生成MEMS器件行为模型