Calibre MPCpro

软件简介

Calibre MPCpro是一种针对电子束光刻和掩模蚀刻工艺引入的系统误差的解决方案,基于Calibre OPCpro技术进行光学工艺校正。Calibre MPCpro可纠正雾化、显影和蚀刻加载等工艺效应,以及ebeam邻近效应

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