软件说明
Calibre MDPview补充了Calibre MDP断裂工具组合,用于视觉验证和装配任务。Calibre MDPview可以与Calibre RVE链接,以指导用户在使用MDPverify检查遮罩规则时,找到之前被识别为问题的区域。Calibre MDPview matches显示错误位置,并允许用户放大和突出显示受影响的图案。额外的分析是通过覆盖功能实现的,该功能允许用户在彼此的顶部显示和对齐遮罩数据文件。统计实用程序有助于描述模式文件的特征。宏和脚本可以在批处理模式下创建和执行,以自定义重复的功能,例如将多个GDSII输入文件组装到单个数据库中。
特点和优点:
查看GDSII和OASIS文件,以及包括MEBES、JEOL、Toshiba/Nuflare、Hitachi和Micronic在内的多种mask writer格式的文件和工作组。
简单、类似浏览器的操作,快速缩放和平移,实现高效导航。
使用Calibre RVE(结果查看环境)快速查看掩码规则检查结果。
模式文件信息实用程序,用于快速、高级别地评估模式文件。
特殊查看模式显示模式文件的内部结构,例如段和字段。
适用于所有文件格式和工作组的灵活覆盖实用程序。
基于规则的测量能力。
支持批处理模式布局操作,例如GDS装配和放置任务。
同时加载多个布局。
用于自定义布局功能的内置宏功能。